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矩阵多元获得一种调整PVD磁控管旋转半径和平面靶电源功率的设备及办法专利

来源:江南综合体育app下载安装    发布时间:2025-02-16 07:42:02

  金融界2024年12月17日音讯,国家知识产权局信息数据显现,深圳市矩阵多元科技有限公司获得一项名为“一种调整PVD磁控管旋转半径和平面靶电源功率的设备及办法”的专利,授权公告号CN 116288225 B,请求日期为2023年3月。

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